Plasmapuhasti struktuur

Plasmapuhasti struktuur koosneb kolmest põhikomponendist: juhtplokist, vaakumkambrist ja vaakumpumbast. Arutleme nende kolme komponendi üle:
1. Juhtseade
Hiinas kasutatavatel plasmapuhastusvahenditel, sealhulgas imporditud, on nelja põhitüübiga juhtplokid: pool-automaatne, täisautomaatne, PC-juhitav ja LCD-puuteekraan.
Juhtseade on jagatud kaheks põhiosaks:
1) Toiteallikas: toiteallikal on kolm peamist sagedust: 40 kHz, 13,56 MHz ja 2,45 GHz. 13,56 MHz toiteplokk vajab toiteadapterit.
2) Süsteemi juhtseade: neid on kolme tüüpi: nuppude juhtimine
2. Vaakumkamber:
Vaakumkambrid on peamiselt valmistatud kahest materjalist:
1) Roostevabast terasest vaakumkamber.
2) Kvartsikamber.
3. Vaakumpump:
Vaakumpumbad jagunevad kahte tüüpi:
1) Kuivpump.
2) Õlipump.